碱性蚀刻液是属于氯化氨铜系统蚀刻液,主要适用于细线路的蚀刻流程,具有高速度、高含铜量、稳定性好、侧蚀小、无沉淀、易控制等特点。适用于锡铅、纯锡、镍金等抗蚀刻阻层。 使用方法: 1.子液规格: 1)色泽:透明澄清 2)PH: 9.5±0.5 3)氯离子含量 :夏天:165±15g/L,冬天:160±15 g/L. 4)比重 :1.03±0.02 5)储存的温度 :20—35℃,通风环境。 2.子液配制(1L): 1)DS—686蚀刻盐:280—300g/L 2)氨水(20%):500ml/L 3)纯水 :余量 3.操作条件: 控制项目 控制范围 较适条件 比重: 1.195±0.02 1.195±0.01 PH : 8.4±0.4 8.4±0.1 氯离子含量: 170—210g/L 190g/L 铜离子含量: 120—150g/L 135g/L 温度: 50±2℃ 4.槽液的控制与维护: 1)定期检查自动控制之比重和槽液比重是否符合而做适当校正。 2)定期分析槽液PH值,含铜量,氯含量,并作成管制图。 3)每日下班时,使用子液冲洗蚀铜机前后进出之滚轮,避免干燥氢氧化铜之累积。 4)用时,可多添加3%—5%子液,避免NH3过量损失。 5)停机**过45日—60日以上时,清洗蚀刻机槽维护如下: a)将槽液排出到预备桶。 b)用水并喷洗5分钟后排放。 c)使用3%(b?v)HCI清洗并喷洗5分钟后排放。 d)检查喷嘴喷淋情况是否正常。 e)用水再清洗一次并检查加热器,冷却水管及滤网板。 f)加水与约2%氨水或子液混合后喷洗5分钟后排放。 g)将槽液抽回。 h)添加时请在槽外配制成子液溶解后,再加入蚀铜机内。 (氯离子标准值—分析值)× NH4Cl/Cl ×槽体积(L)/1000= 添加氯化氨Kg量。 例:(200-170)×53.5/35.5×500L/1000=22.6Kg 分析方法: 1、铜含量 (a)所需药剂: 1)MX指示剂。 2)0.1N EDTA溶液。 (b)分析步骤: 1)抽取1ml的槽液,置于250ml锥形瓶中。 2)加入100ml纯水。 3)加入约0.02g的MX指示剂。 4)以0.1MEDTA滴定,当颜色由绿色再转为蓝色或紫色时点即为终点。 (c)计 算:铜含量g/L=滴定液体积ml×63.5×0.1 2 、氯离子含量: (a)所需药剂: 1)0.1AgNO3(硝酸银)标准液。 2)10%Na2Cr2O6(铬酸钠)指示剂。 3)2%冰醋酸 (b) 分析步骤: 1) 抽取5ml工作液至100ml容量瓶中,并以纯水稀释至标准位置。 2) 抽取5ml上项之稀释液于250ml锥形瓶中。 3) 加入50ml的纯水。 4) 加入约0.35ml(7滴)10%Na2Cr2O6。 5) 加入约适量2%冰醋酸: 子液约需4—5ml,颜色由青绿变金黄。 槽液约需10—12ml,颜色由混浊变澄清黄色。 6) 以0.1NAgNO3缓慢滴至沉淀为散开状细小颗粒、略偏粉红为终点。 (c)计 算:氯离子g/L=AgNO3滴ml数×14.2